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蒸汽输送???

蒸气输送??槭怯糜谑渌统叽慷人羝淖宰闶侥??。相比闪蒸系统,他们能提高蒸汽精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。

关键应用

  • 硅半导体后金属刻蚀工艺
  • 硅半导体金属带材工艺
  • 在低于大气压的环境中超高纯增湿

了解我们的蒸汽输送??槿绾瓮诰蚰墓ひ涨绷?。

产品

VDM300
VDM300
产品类型

DI Water Vapor Delivery Module

 

区别

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

蒸发方式 Vapor Draw
流体类型 UHP DI Water
流量范围-满量程容量

3000 sccm

最大压力

Vapor Outlet: 200 torr

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