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    蒸汽输送???

    蒸气输送??槭怯糜谑渌统叽慷人羝淖宰闶侥??。相比闪蒸系统,他们能提高蒸汽精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。

    关键应用

    • 硅半导体后金属刻蚀工艺
    • 硅半导体金属带材工艺
    • 在低于大气压的环境中超高纯增湿

    了解我们的蒸汽输送??槿绾瓮诰蚰墓ひ涨绷?。

    产品

    VDM300
    VDM300
    产品类型

    DI Water Vapor Delivery Module

     

    区别

    Ultra High Purity DIW Vapor

    Highest Flow Accuracy

    Compact Design

    EtherCAT interface

    蒸发方式 Vapor Draw
    流体类型 UHP DI Water
    流量范围-满量程容量

    3000 sccm

    最大压力

    Vapor Outlet: 200 torr

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