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GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表

提升价值驱动型金属密封应用的性能标准

型号 GF80

对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。

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GF80 系列数据表

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
1 秒内稳定
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
带有 VCR 配件的细线体设计
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口

优势

1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
测量精度不受温度变化影响
可轻松访问诊断端口以实现运行时间最大化
规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的绝佳选择
多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作

应用

对翻新后的半导体加工工具中的原有 MFC 进行经济高效的改型/升级
减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
用于 LED 和功率器件生产的 MOCVD
太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
分析用 OEM 设备

产品类型

Mass Flow Controller

区别

High Purity

性能

流量范围-满量程容量

3 sccm - 300 slm

精度

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

重复性

< ±0.2% S.P.

线性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

响应时间-常闭

Normally Closed Valve: <1 sec

多气体多量程

MultiFlo™ Available

瞬时压力波动不敏感

—

控制范围

< 5% - 100%

Bin的数量

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

阀门关闭

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 4% of Standard Configuration F.S. @ 30psig/atm out N2 equiv.

零点稳定性

< ±0.5% F.S. per year

机械

密封材料

Metal

纯净等级

16µ inch Ra

接液材料

316 Stainless Steel

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

阀门

Normally Closed

Meter (no valve)

等级

最大温度

50^oC

压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(typical pressure drops)

最大压力

Standard GF Series: 150 psig (10 bar)

High Flow GF Series: Meter = 75 psig (5 bar), Controller = 150 psig (10 bar)

漏率

1x10^-10 atm cc/sec He

诊断和显示

诊断能力

Available

状态灯

MFC Health, Network Status

报警

Control Valve Output, Network Interruption

诊断/服务端口

RS485 via 2.5mm jack (all models)

电气

模拟通讯

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

数字通讯

DeviceNet™

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

电气连接

Profibus/Analog via 9-Pin "D" connector

RS485/Analog via 9-Pin"D" connector, 15-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

电源-功耗

Standard GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 7 Watts max

Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 7 Watts max

DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 13.6 Watts max

High Flow GF Series: RS485 from +12 Vdc to +24 Vdc = 3.3 Watts max

Profibus from +13.5 Vdc to +27 Vdc = 3.3 Watts max

DeviceNet™ from +11 Vdc to +25 Vdc = 3.3 Watts max

承诺

电磁兼容性

CE: EN6126: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合环保要求

Safety EN61010-1

RoHS

	GF80
区别	High Purity Low Flow Rate
流量范围-满量程容量	3 sccm - 55 slm
表面抛光	16µ inch Ra
精度	±1% S.P. 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
重复性	< ± 0.2% S.P.
响应时间-常闭	Normally Closed Valve <1 sec
多气体多量程	MultiFlo™ Available
瞬时压力波动不敏感	—
诊断能力	Status Lights: MFC Health, Network Status Alarms: Control Valve Output, Network Interruption
模拟通讯	0-20 mA 4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc
数字通讯	Profibus RS485 S-Protocol RS485 L-Protocol DeviceNet™

Filename	File Type	Documents By Language
Data Sheet	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English Japanese
DeviceNet? Supplemental Manual - GF40, GF80	pdf	English
EtherCAT? Supplemental Manual - GF40, GF80	pdf	English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80	pdf	English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80	pdf	English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual - GF40, GF80	pdf	English
CE EU Declaration of Conformity Certificate	pdf	English Korean Russian Romanian Spanish

Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Filename	File Type
GF080-VX-DNET-STEP	STEP
GF080-VX-L4-STEP	STEP
GF080-VX-S0	DXF
GF080-VX-S0	IGS
GF080-VX-S0	STEP
GF080-VX-S4	DXF
GF080-VX-S4	IGS
GF080-VX-S4-STEP	STEP
GF080-VX-S5	DXF
GF080-VX-S5	IGS
GF080-VX-S5	STEP

0250 读数应用

0250 读数应用

Controls and powers up to 4 devices

0260 系列

0260 系列

Controls and monitors up to 30 devices, powers up to 10 devices.

MultiFlo? 配置器

A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.

Smart DDE 软件

Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.

可下分的棋牌游戏