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    5850EMH系列高温质量流量控制计

    页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性,高温应用中超高纯表现
    型号 5850EMH / 5851EMH

    来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了最先进的性能,具有多种选择,允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

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    5850EMH 系列数据表

    特点

    • 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
    • 宽流速范围(0.003 - 100 slpm)
    • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
    • 无磨粒
    • 氦泄漏检查端口
    • 常闭阀(可选??В?/li>
    • 电致动阀复位
    • 低命令流量断流
    • TTL 兼容"关阀"功能

    优势

    • 稳定、可靠的产品平台
    • 高流量,高达 100 lpm(N2 当量)
    • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
    • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

    应用

    • 光纤制造——MCVD,OVD,AVD
    • 水汽流量控制
    产品类型
    Mass Flow Controller
    区别

    Highest Flow Range

    Proven, reliable technology

    性能
    流量范围-满量程容量
    100 slm (N2 equivalent)
    精度

    1% of FS

    重复性
    <±0.25% SP
    线性

    Included in accuracy.

    响应时间-常闭

    <3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

    零点稳定性
    机械
    密封材料
    Metal
    纯净等级
    接液材料

    316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

    阀门

    Normally Open

    Normally Closed

    等级
    最大温度
    105oC
    压差范围

    50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

    最大压力

    1 MPa (145 psi)

    漏率
    1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
    电气


    诊断能力
    模拟通讯

    0-5 Vdc

    数字通讯
    电气连接

    15-Pin "D" connector

    电源-功耗

    ±15 Vdc @ 350 mA (max)

    5850EMH 5851EMH
    流量范围-满量程容量 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
    精度

    ±1% FS

    ±1% FS

    重复性 < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
    响应时间-常闭

    3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

    3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

    模拟通讯

    0-5 Vdc

    0-5 Vdc

    FilenameFile TypeDocuments By Language
    Data Sheet pdf English
    Installation & Operation Manual pdf English
    Quick Start Guide pdf English
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